2026年10月14日下午，由安徽省力学学会青年工作委员会承办的安徽省力学青年报告会（第1期）成功举办。安徽省力学学会理事长、中国科学技术大学工程科学学院执行院长吴恒安教授致辞，学会常务理事、青年工作委员会主任委员、中国科大司廷教授主持报告会。中国科大近代力学系刘浩然教授作题为《浸没式光刻技术中动态润湿过程研究》的学术报告，学会理事、青工委委员和省内高校相关领域师生共计90余人线上参加交流。
吴恒安教授在致辞中对该系列报告的启动表示支持，并向参与筹备的教师和报告人表示感谢，希望报告活动立足安徽、面向全国，吸引更多青年学者参与；同时加强与先进制造企业的交流，围绕研发中的技术瓶颈开展合作，发挥力学在解决工程实际问题中的作用。吴恒安教授还表示中国科大愿为省内高校提供力所能及的支持，通过学术交流、教师进修等方式，助力青年教师成长和安徽力学事业发展。
图1 吴恒安教授致辞
司廷教授介绍了开展系列报告的背景，本届青工委自成立以来，积极谋划多项举措，促进省内力学青年学者交流合作与共同进步。本次学术报告会依托线上交流平台，为青年学者和学生提供交流研究进展、拓展学术视野的机会。后续还将结合青年学者的需求，开展经验分享、项目交流和基金申报辅导等活动，具体内容由青工委相关负责人协调组织（司廷主任委员、刘浩然副主任委员、李孝宝副主任委员、牛铮副主任委员、唐彬副主任委员、李凯副主任委员、余昊秘书长）。
图2 司廷教授主持报告会
报告中，刘浩然教授从芯片制造中的实际需求出发，介绍了浸没式光刻技术的基本原理与动态润湿难题。在投影物镜与晶圆之间引入浸没液，可以提高光刻分辨率，但晶圆高速运动可能造成微液滴残留或气泡卷入，严重制约良品率的提升。理解气液界面及移动接触线的运动规律，是研究浸没液稳定性、改进流动控制方法的重要基础。围绕以上问题，刘浩然教授深入介绍了团队在物理模型和数值方法方面的研究进展。团队开发了多相流大规模并行计算平台，结合相场方法追踪气液界面，并建立截断式移动接触线模型，将微观接触线运动与宏观流动相联系。在液滴滑落、液滴铺展和平板提拉等典型问题中，相关方法得到了验证，为进一步研究复杂流动环境下的动态润湿过程提供了计算工具。
图3 刘浩然教授作学术报告
在初步应用研究中，团队对浸没式光刻过程进行了数值模拟，对比了有无气帘时浸没液的形态变化，展示了气帘稳定接触线、抑制微液滴拖出的作用。刘浩然教授也分享了后续研究设想，包括结合真实工况开展模拟，研究微液滴残留与气泡卷入的机制，并进一步发展适用于复杂流动环境的润湿理论。交流环节，与会师生围绕商业软件的适用范围、数值计算效率与精度、吹气对接触线运动的影响以及实际装置中的气流设计等问题进行了讨论。刘浩然教授结合模型特点和现阶段研究结果作了回应，并与参会者就进一步对接工程需求交换了意见。
本次报告会是学会青工委系列线上学术交流活动的开端，青工委将继续邀请省内外相关领域学者分享研究进展，促进青年力学工作者交流合作，推动力学基础研究在工程实践中的应用。
附报告会海报：
（安徽省力学学会青年工作委员会、中国科学技术大学工程科学学院）